Uygulama Arkaplanı
Kuru kazım işlemi, çip imalatında yaygın olarak kullanılmaktadır.yoğun küçük delikleri olan gaz dağıtım plağı, negatif elektrot olarak hizmet ederek, odanın üstüne monte edilir.Yüksek sıcaklıklı odanın içindeki silikon levha üzerinde litografi ile tanımlanan devre desenlerine göre mikro üretim yapılır., böylece wafer yüzeyini tasarlanmış hat genişliğine ve derinliğine kazınarak mikro bütünleşik devreler oluşturur.
Üst ve alt elektrotlar plazma ile doğrudan temas halindedir.Elektrotlar, kazım gazından gelen kademeli fiziksel ve kimyasal korozyona maruz kalırBelirli bir seviyeye kadar yıpranmış olduktan sonra, elektrotlar tekdüze kazım sağlamak için değiştirilmelidir. The evenly‑distributed holes on the upper electrode (shower head / gas distribution plate) will deviate in dimension due to etching‑gas corrosion and need replacement when tolerance limits are exceeded.

Çözüm Analizi
🔹 φ0.45 mm PCD mikro delme işleme monokristal silikon üzerinde yapılan testler, delik kenarında minimum çöpçatanlık göstermektedir. Mikroskop kontrolü altında delik yuvarlaklığı toleransı 0.005 mm'den azdır.±0 içinde boyut doğruluğu.003 mm ve müşteri gereksinimlerini karşılayan yüzey kabalığı ≤Ra0.2 μm.
🔹 Ön testlerde, matkap 3500 delik işledikten sonra hafif kenar aşınması gösterir ve kullanılabilir kalır.
🔹 Worldia PCD mikro matkapları, işlenmiş malzemelere ve uygulama senaryolarına göre, çap aralığı φ0,1-φ1,0 mm olan dört serilere (WZ1, WZ2, WZ3 ve WZ-X) ayrılır.Katı PCD matkapları kendi kendine merkezleşen tasarımı benimsiyor, maksimum derinlik-diametre oranını 57'ye kadar destekler:1Çip-flütler, pürüzsüz çip boşaltması için entegre öğütme ile üretilir. İşlenmiş delik duvarı finişi, küçük delik kenarı çöplemesi ile Ra0,2 μm veya daha iyi olabilir.PCD matkap ucu mükemmel aşınma direnci sağlar, uzun alet ömrü ve yüksek boyut tutarlılığı. ürünler monokristal silikon, polikristal silikon, SiC, seramik,Erimiş silika ve yarı iletken endüstrisinde kullanılan diğer malzemeler.

Veriler Kaynağı: Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd'nin hassas alet teknolojisi departmanının alet test raporu.

Daha fazla bilgi için lütfen:

📌www.worldia-tools.com

Ya da şu adrese sorular gönderebilirsiniz: info@worldia-tools.com